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氣體質量流量控製器

作者:流量計廠家    發布時間:2018-09-07 15:51     瀏覽次數 :


     氣體質量流量控製器卓越的精度、堅固性及可靠性源於我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高於氣體溫度的一個常數值,然後測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不鏽鋼包裝殼內。

 

技術參數技術參數
 
行業應用
 

     Dmass質量流量控製器用於對氣體的質量流量進行精密測量和控製。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣係統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
 


 

     流量質量控製器出廠通常用氮氣(N 2 )標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時與銷售人員特別申明。 用氮氣標定的流量控製器用戶使用其它氣體時,可以通過附錄的轉換係數進行換算。
 

    使用氣體必須淨化,切忌粉塵、液體和油汙。必要時加裝過濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
 

    流量計通道采用的材料為:SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶係統無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當的條件下,可以用於控製一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時,應在定貨時聲明。 使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。

 

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